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34QCサークルNO.680㈱デンソー本社●所在地:愛知県刈谷市昭和町1-1●構成人員:5名(男性4名・女性1名)●メンバー年齢:平均35歳●結成:2012年12月●テーマ歴:7件目●本テーマの会合回数:24回●1回の会合時間:15〜30分(就業時間内)裏面研磨装置搬送割れ撲滅活動〜「と組」による1/7,000への挑戦!〜発生頻度の低い現象をよく観察して改善した事例体験事例1裏面研磨装置はラインに1台しかなく,ウエハ割れが発生すると,復旧処置に4.5時間もかかるため,生産を圧迫してしまいます。しかし,この異常は7,000枚に1枚程度しか発生しない,頻度が低い異常のため真因追究が難しく,これまで様子見をしてきました。しかし,職場の方針である,「ダントツ品質体制強化」の実現に向け,私たちは「裏面研磨装置搬送割れ撲滅」をテーマとして,活動に取り組むこととしました。裏面研磨装置の搬送部分は図・2のようになっており,ウエハキャリアからウエハを取り出し,ベルト搬送した後,反転アームで表裏反転させて搬送機に移します。【異常発生時の動作】エレベータで1枚分ピッチ下降しますが,ウエハが出ていないと誤認し,もう1枚分下降してしまい,2枚重ねのような状態でベルト搬送してしまいます。そして,反転アーム私たちの職場は本社工場にあり,カーエレクトロニクスを支える重要部品である,車載半導体用ICウエハ(半導体でできた薄い円盤)製造ラインの設備保全業務を担当しています。稼働後15年を経過し老朽化が進む中,安定稼働のため設備改良保全(リニューアルや内製による保全)に取り組み,サークルメンバー全員が成長できるよう活動を推進しています。2015年度の保全課活動方針で,ウエハ割れ率が目標を達成しておらず,現場・データ確認の結果,裏面研磨時の搬送異常による割れが多く発生していることがわかりました(図・1参照)。こんな事例です発生頻度の低い現象を現場・現物でじっくり観察し,検証を重ねることで,ウエハ検出機能のリニューアル保全,自動停止機能の自製により,ウエハ割れを撲滅した事例です。●第5940回QCサークル大会(本部主催広島)からの推薦ザッシュサークル1.職場・サークル紹介2.テーマの選定3.現状把握図・1テーマ選定パレート図(枚)15年度設備別慢性ウエハ割れワースト5ウエハ割れ枚数ウエハ割れ枚数占有率裏面研磨装置がもっとも多い!全体の65%を占有している裏面研磨装置モード別ウエハ割れ状況(枚)(%)裏面設備設備設備研磨BC設備DE搬送異常研磨過剰研磨欠け水跡残りその他3月号_体験事例1_2.13.INDD3418/02/1417:23
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